真空爐分為外熱式和內(nèi)熱式，內(nèi)熱式真空熱處理爐的結(jié)構(gòu)內(nèi)熱式真空熱處理爐是將整個(gè)加熱裝置及欲處理的工件均放在真空容器內(nèi)，沒有爐罐，整個(gè)爐殼就是一個(gè)真空容器。爐中安設(shè)電熱元件、隔熱屏、爐床、風(fēng)扇、傳送機(jī)構(gòu)和其他構(gòu)件等。通過電熱元件的熱輻射或充入氣體氣流循環(huán)加熱工件，爐殼多采用雙層水冷式設(shè)計(jì)，因而也可稱作冷壁式真空爐。電熱元件多位于加熱室中部，圍繞工件有效加熱區(qū)設(shè)計(jì)安置，外部是金屬輻射屏或非金屬隔熱屏結(jié)構(gòu)，爐床安裝在加熱室下部，風(fēng)扇結(jié)構(gòu)所安設(shè)在冷卻室，也有安設(shè)于加熱室的一端，上部或下部，并且和熱交換器裝置組成強(qiáng)制氣流循環(huán)的加熱和冷卻系統(tǒng)。傳遞機(jī)構(gòu)多設(shè)在冷卻室，有些和爐外料筐支架相連，根據(jù)用途和某些特殊要求采取不同型式結(jié)構(gòu)。加熱電極通過爐殼引入，設(shè)計(jì)時(shí)要考慮加熱電極的水冷和密封結(jié)構(gòu)，以保證其良好的工作特性。典型的內(nèi)熱式真空熱處理爐的結(jié)構(gòu)示意圖下圖所示。目前內(nèi)熱式真空熱處理爐形式多樣，按其外形及結(jié)構(gòu)可分為立式、臥式、單室、雙室和三室。工作冷卻方式分為自冷、負(fù)壓氣冷、負(fù)壓油冷和加壓氣冷（2x10³pa）、高壓氣冷（2x10?pa）及超高壓氣冷（20x10?pa）等爐型。按照熱處理工藝科分為淬火爐和回火爐。有單功能的，也有多功能的。
優(yōu)點(diǎn)：
1、可以制造大型高溫爐，而不受爐罐限制；
2、加熱和冷卻速度快，生產(chǎn)效率高；
3、因不采用耐熱爐罐，溫度范圍廣，最高加熱溫度可達(dá)到2200℃或更高；
4.易于實(shí)現(xiàn)全過程的自動(dòng)化，工作中無污染，環(huán)境好，操作安全；
5、爐子熱慣性小，加熱和冷卻工序循環(huán)短，熱效率高，生產(chǎn)效率也高；
6、爐溫均勻性好，可達(dá)±5℃，工件加熱均勻，變形微小，產(chǎn)品質(zhì)量好；
7、加熱期間不需要保護(hù)氣氛，除非為防止金屬揮發(fā)或在低溫區(qū)提高加熱速度和爐溫均勻性通入的氣體外，一般充入氣體多采用N?，Ar或Ne氣等。
缺點(diǎn)：
1、內(nèi)熱式真空爐內(nèi)結(jié)構(gòu)復(fù)雜，爐子造價(jià)高，電氣絕緣性要求高；
2、與外熱式真空爐相比，爐內(nèi)容積大，各種構(gòu)件表面吸附大量氣體，需配大功率抽氣系統(tǒng)；
3、考慮真空放電和電氣絕緣性，要低電壓大電流供電，需配套系統(tǒng)。
