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真空氣氛爐氧分析儀的保養方法將氮氣通入氧分析儀，使其穩定時的讀數與高純氮氣的實際氧含量相同，校準氧分析儀的低氧測量端。啟用氣氛測量柜內的校準氣路。 具體操作方法如下：

1.將氣源選擇閥的箭頭轉向氮氣；

2.打開氣源旁通閥使出氣；

3.將采樣標準選擇閥轉向“校準”位；

4.逐漸關小氣源旁通閥，使氧分儀的流量至500ml/min；

5.通氣半小時，直至氧分儀的讀數穩定；

6.若氧分儀讀數<20ppm跳過此步；

7.若氧分儀的讀數>20ppm，將讀數標準為<20ppm的某值；

8.完成后關閉氣源閥，將采樣標準選擇閥轉向“采樣” ；

9.逆時針旋轉壓力調整閥使壓力至0.05Mpa以下定期放水、更換過濾器濾芯。